ESD的產(chǎn)生形式如下:
1. 傳導(dǎo):對于導(dǎo)電材料來說,電子能在表面流動時,與帶電物體相接觸,就會發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移。
2. 感應(yīng):針對導(dǎo)電材料而言,因電子能在它的表面自由流動,如將其置于一電場中,由于同性相斥,異性相吸,正負(fù)電子就會轉(zhuǎn)移。
3. 摩擦:當(dāng)兩個不同材質(zhì)的物體接觸后再分離,可產(chǎn)生靜電,而產(chǎn)生靜電的最普通方法,就是摩擦。絕緣性越好,摩擦生電就越容易。
ESD三種損壞形式如下:
1. 當(dāng)手持ESD敏感裝置而不先拽放電荷到地,此時摩擦電荷就會轉(zhuǎn)到ESD裝置而造成損壞。
2. 微電子器件帶電型式是指ESD敏感的裝置,特別是塑料件。在生產(chǎn)過程中,會產(chǎn)生摩擦電荷,而這些摩擦電荷通過低電阻的線路非常迅速地瀉放到高度導(dǎo)電的牢固接地表面,從而造成損壞;或者通過感應(yīng)使ESD敏感的裝置的金屬部分帶電而造成損壞。
3. 另一種就是場感類,即有強(qiáng)電場圍繞。這可能產(chǎn)生在塑性材料或人的衣服,會發(fā)生電子轉(zhuǎn)化跨過氧化層。若電位差超過氧化層的介電常數(shù),側(cè)會產(chǎn)生電弧以破壞氧化層,其結(jié)果為短路。
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