靜電作為一種近場(chǎng)自然危害源,給人類社會(huì)已經(jīng)造成了重大損失和危害。除此之外,由于靜電場(chǎng)的庫侖力作用或靜電放電的其他效應(yīng),在塑料和橡膠制品加工、成型過程中,在紡織、印刷、自動(dòng)化包裝、感光膠片生產(chǎn)等過程中,都會(huì)由于靜電場(chǎng)的存在或靜電放電使其生產(chǎn)出現(xiàn)故障,造成靜電障礙。
隨著微電子技術(shù)的迅猛發(fā)展,電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代周期愈來愈短,大規(guī)模集成電路、超大規(guī)模集成電路、專用集成電路以及超高集成電路已廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。近幾年,由于航天、軍事領(lǐng)域的特殊需要,各種微電子器件已大大提高了集成度,而且做到了微功耗、高可靠、多功能。電路中的絕緣層越來越薄,其互連導(dǎo)線的寬度與間距也越來越小。這樣發(fā)展的器件的電磁敏感度大大提高,抗過電壓能力卻有所下降。據(jù)統(tǒng)計(jì),不合格的電子器件中有45%是靜電放電危害造成。在電子工業(yè)領(lǐng)域,全球每年因靜電造成的損失高達(dá)百億美元。
近幾年,隨著微納米器件和微細(xì)加工的發(fā)展,對(duì)靜電防護(hù)問題提出了更高的要求。為此世界各工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家都十分重視靜電危害及其防護(hù)研究。人們不僅在各個(gè)工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域研究防止靜電危害的對(duì)策,保證生產(chǎn)過程的安全性和產(chǎn)品質(zhì)量、性能的可靠性,而且注重研究產(chǎn)品在靜電存在的環(huán)境中使用過程的電磁兼容性。靜電放電形成的寬頻帶電磁輻射會(huì)對(duì)各種電子系統(tǒng)造成電磁干擾,所以在各種電子產(chǎn)品的電磁兼容性設(shè)計(jì)中都要考慮靜電防護(hù)這一要求。
美國(guó)的軍用標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)際電工委員會(huì)標(biāo)準(zhǔn)等相關(guān)的電磁兼容性內(nèi)容都對(duì)靜電放電防護(hù)提出了具體要求。如國(guó)際電工委員會(huì)IEC61000-4-2,不僅對(duì)靜電放電模型參數(shù)、
靜電放電發(fā)生器及試驗(yàn)方法作出了嚴(yán)格規(guī)定,而且隨著靜電放電試驗(yàn)的研究和工業(yè)生產(chǎn)發(fā)展的要求,對(duì)該標(biāo)準(zhǔn)不斷進(jìn)行了修訂。從1991年的IEC801-2到目前的IEC61000-4-2已進(jìn)行了多次大的修改??梢姡o電放電的防護(hù)問題已不是過去單純研究靜電引起災(zāi)害事故和生產(chǎn)障礙的安全性問題,而是包括靜電放電形成電磁干擾的系統(tǒng)及系統(tǒng)間的電磁兼容性問題。
總之,靜電放電是一種常見的近場(chǎng)危害源,靜電放電過程可形成高電壓、強(qiáng)電場(chǎng)、瞬時(shí)大電流,其電流波形的上升時(shí)間可小于1ns,并伴隨有強(qiáng)電磁輻射,形成靜電放電電磁脈沖。靜電放電電磁脈沖不僅可以對(duì)電子設(shè)備造成嚴(yán)重干擾和損傷,而且還可能形成潛在性危害,使電子設(shè)備的工作可靠性降低,引發(fā)重大工程事故。尤其是潛在性失效具有隱蔽性。
隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,信息化時(shí)代的到來,給靜電防工程研究又提出了
電磁兼容性研究的新內(nèi)容、新課題和技術(shù)難點(diǎn)。如靜電放電輻射場(chǎng)的模擬方法和數(shù)理模型的建立;ESD產(chǎn)生的單次脈沖場(chǎng)的測(cè)試技術(shù)與測(cè)試手段;微電子器件受ESD作用的機(jī)理;潛在性失效的實(shí)驗(yàn)分析方法和潛在性失效的微觀機(jī)制以及有效的防護(hù)原則與防護(hù)技術(shù)等,都是該研究領(lǐng)域當(dāng)前急待解決的熱點(diǎn)問題。